În acest articol sunt prezentate rezultatele influenţei pe care tratamentele termice şi chimice le au asupra morfologiei suprafeţei substraturilor de NdGaO₃ cu orientare (110). Suprafeţele astfel tratate au fost analizate prin intermediul microscopului de forţă atomică (MFA), în aer, şi difracţiei prin reflexie de electroni cu energie înaltă (DREEI), in-situ. Un tratament termic optim al substraturilor de NdGaO₃ (110) a rezultat într-o suprafaţă cu o terminaţie de NdO_1+x, în timp ce prin tratamentul chimic cu o soluţie HF + NH₄F + H₂O s-a obţinut o suprafaţă terminată în GaO_2-x şi cu terase cu rugozitate la nivel atomic. Tratamentul chimic a fost urmat de un tratament termic la temperaturi de 900-1000^oC, în aer sau în oxygen, în scopul recristalizării suprafeţei substratului.